| Падеж | Единственное число | Множественное число |
|---|---|---|
| Именительный Кто? Что? |
микроинтерферо́метр | микроинтерферо́метры |
| Родительный Кого? Чего? |
микроинтерферо́метра | микроинтерферо́метров |
| Дательный Кому? Чему? |
микроинтерферо́метру | микроинтерферо́метрам |
| Винительный (неод.) Кого? Что? |
микроинтерферо́метр | микроинтерферо́метры |
| Творительный Кем? Чем? |
микроинтерферо́метром | микроинтерферо́метрами |
| Предложный О ком? О чём? |
микроинтерферо́метре | микроинтерферо́метрах |