Значение слова «фотолитография»

• ФОТОЛИТОГРА́ФИЯ, -и, ж.

  1. Литография, основанная на применении фотографии, когда рисунок, изображение с негатива наносится на литографский камень или металлическую пластину, покрытые светочувствительным слоем.

  2. Оттиск с литографской печатной формы, изготовленной таким способом.

Источник (печатная версия): Словарь русского языка: В 4-х т. / РАН, Ин-т лингвистич. исследований; Под ред. А. П. Евгеньевой. — 4-е изд., стер. — М.: Рус. яз.; Полиграфресурсы, 1999; (электронная версия): Фундаментальная электронная библиотека

• Фотолитогра́фия — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. Один из основных приёмов планарной технологии, используемой в производстве полупроводниковых приборов.

  Суть процесса фотолитографии сводится к тому, что вначале на обрабатываемую поверхность наносится тонкая фоточувствительная полимерная плёнка (фоторезист). Затем эта плёнка засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком. Далее проэкспонированные участки удаляются в проявителе. Получившийся на фоторезисте рисунок используется для таких технологических этапов планарной технологии, как травление, электроосаждение, вакуумное напыление и другие. После проведения одного из этих процессов оставшийся, не удалённый при проявлении, фоторезист также удаляется.

  Принципиальное отличие фотолитографии от других видов литографии заключается в том, что экспонирование производится светом (видимым или ультрафиолетовым), тогда как в других видах литографии для этого используется рентгеновское излучение (рентгеновская литография), поток электронов (электронно-лучевая литография) или ионов (ионно-лучевая литография) и другое.

  Наименьшие размеры деталей рисунка, достижимые в фотолитографии (разрешение), определяются: длиной волны используемого излучения, качеством применяемой при экспонировании оптики, свойствами фоторезиста и достигают 100 нм. Применение специальных методов (иммерсионная литография) теоретически позволяет получить разрешение до 11 нм.

Источник: Википедия

• ФОТОЛИТОГРА'ФИЯ, и, ж. (тип.). Литография, основанная на применении фотографии. См. [фото] в 1 знач.

Источник: «Толковый словарь русского языка» под редакцией Д. Н. Ушакова (1935-1940); (электронная версия): Фундаментальная электронная библиотека

• фо̀толитогра́фия

  1. широко используемый в микроэлектронике и полиграфии метод получения рисунка на тонкой плёнке материала с помощью света определённой длины волны ◆ «Рисунок» из четырёх тысяч транзисторов и их подключения обеспечены методами фотолитографии. Степан Васильев, ««Атомный бильярд» для электроники» // «Зеркало мира», 2012 г. (цитата из НКРЯ)

  2. истор. литография с применением фотографии ◆ Пуатевен покрыл литографский камень хромированной желатиной, проэкспонировал на этот слой изображение, проявил его и покрыл краской. Свой способ он назвал фотолитографией. Е. Л. Немировский, «Иоганн Гутенберг», 1989 г. (цитата из библиотеки Google Книги)

Источник: Викисловарь